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  • 2018-11-08

    未来ITO靶材发展趋势

        1.降低电阻率。随着LCD愈来愈精细化发展的趋向,以及它的驱动程序不同,需要更小电阻率的透明导电膜。  2.高密度化。靶材密度的改善直接带来的益处主要表现在减少黑化和降低电阻率...

  • 2018-11-08

    靶材的主要性能要求介绍

          纯度:纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“...

  • 2018-11-08

    靶材溅射完后半边中毒发乌问题分析

        原因分析1:可能与射频电源的引入有关  原因分析2:这么小的靶,两英寸?冷却均匀么  原因分析3:这么小的靶还加300W的功率,冷却跟得上吗?怀疑是冷却不好,造成半边发乌!  原因分析4:冷...

  • 2018-11-08

    溅射靶材射频的频率提高后

        在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加...

  • 2018-11-08

    真空镀膜和光学镀膜区别

          靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。新型的溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运...

  • 2018-11-08

    离子镀装饰发朦缺陷现象与成因及对策浅析

    1 前 言离子镀装饰膜镀膜生产经常出现表面“发朦”的缺陷,在白光下目视镀层局部表面出现一层浅白色云雾状物。“朦白”现象在镀银白色膜、黑色膜、金色膜时都会出现。镀TiC、CrC 黑膜会出现,甚至用...

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