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靶材溅射完后半边中毒发乌问题分析
浏览量:385 上传更新:2018-11-08

    原因分析1:可能与射频电源的引入有关

  原因分析2:这么小的靶,两英寸?冷却均匀么

  原因分析3:这么小的靶还加300W的功率,冷却跟得上吗?怀疑是冷却不好,造成半边发乌!

  原因分析4:冷却不够。温度太高了吧

  原因分析5:可能跟功率过高有关,我直径60的靶功率只敢加到100W左右

  原因分析6:两小时中电源稳定吗?可能是能量太高,也可能是靶的一边碰到接地的部件了

  原因分析7:疑似气密性有问题,个人认为

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