您好,欢迎来到广州市民裕信息科技有限公司!咨询热线:18666219443  15920666699


联系我们 content us

广州市民裕信息科技有限公司
网  址:www.gzmybc.com
联系人:吴全民
手  机:18666219443  15920666699
座  机:020-34781866
邮  箱:2753289026@qq.com
地  址:广州市番禺区大石街道石南路46号

您的当前位置:网站首页 » 新闻中心 » 常见问题 » 合金靶材溅射靶材使用指南及注意事项
合金靶材溅射靶材使用指南及注意事项
浏览量:409 上传更新:2018-11-08
      保持真空腔体尤其是溅射系统洁净是非常重要的。任何由润滑油和灰尘以及前期镀膜所形成的残留物会收集水气及其他污染物,直接影响真空度获得和增加成膜失败的可能性。短路或靶材起弧,成膜表面粗糙及化学杂质含量超标经常是由于不洁净的溅射室、溅射枪和靶材引起的。  为保持镀膜的成分特性,溅射气体(氩气或氧气)必须清洁并干燥,溅镀腔内装入基材后便需将空气抽出,达到工艺所要求的真空度。  暗区屏蔽罩,腔体壁及邻近表面也需要保持洁净。在清洗真空腔体时我们建议采用玻璃球抛丸法处理有污垢的部件同时用压缩空气清除腔体四周前期溅射剩余物,再用氧化铝浸渍过的沙纸轻轻的对表面进行抛光。纱纸抛光后, 再用酒精,丙酮和去离子水清洗,同时建议使用工业吸尘器进行辅助清洁。  高展金属生产的靶材采用真空密封塑料袋包装, 内置防潮剂。
联系我们

广州市民裕信息科技有限公司

网  址:www.gzmybc.com

联系人:吴全民

手  机:18666219443  15920666699

座  机:020-34781866

邮  箱:2753289026@qq.com

地  址:广州市番禺区大石街道石南路46号

微信扫一扫
Copyright @ 2018  广州市民裕信息科技有限公司  粤ICP备18143053号  手  机:18666219443  159206666999
地  址:广州市番禺区大石街道石南路46号  邮  箱:2753289026@qq.com   电脑版 | 手机版